1、首先要對密封件的氣密性進行檢驗，看其是否嚴密，防止由于密封件不嚴導致水分滲入和六氟化硫氣體泄漏。還需注意的是在實際運行中的六氟化硫斷路器，應定期測量六氟化硫氣體含水量，新安裝或大修后應三個月測量一次，待含水量穩定后可每年測量一次，滅弧氣窒含水量應小于300ppm，其它氣窒小于500ppm。
  2、其次要控制好六氟化硫斷路器中新氣的含水量。當設備完成安裝后，需進行充裝六氟化硫氣體，新氣體充裝前，應依據相應的質量標準對其進行驗收檢驗。

應盡量避免在進行充氣操作時帶入水分。充氣之前，要對新氣體氣瓶的壓力進行檢查，看其是否符合出廠要求，然后再對所有管路進行清洗，接頭處可使用電吹風進行加熱驅潮。充氣時應先將氣瓶的控制閥門擰開，并把連接管用六氟化硫氣體沖一下，隨后將其與斷路器連接。充氣后六氟化硫斷路器氣室中的氣壓要盡量高于實際要求值。